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半导体固晶(Die Attach)是芯片封装的核心工序,通过粘接胶将芯片与基板、引线框架精准贴
合,其固化质量直接决定芯片位置精度、热传导效率与器件长期可靠性。针对热敏芯片、超薄基
板及高精度封装场景,UV 固化型固晶胶凭借室温快速固化特性逐步替代传统热固胶,而 UVLED
固化光源凭借精准控光、低温无应力的优势,成为固晶胶边缘侧固化的核心技术支撑。

一、核心技术优势
窄带光谱精准适配采用 365nm 单波长窄带输出,半峰宽控制在 10nm 以内,精准匹配环氧类、
丙烯酸酯类固晶胶的光引发剂吸收峰,胶层交联充分,避免欠固化导致的粘接强度不足、离子迁
移风险。
微米级边缘精准照射搭载狭缝式定向光学系统,光斑可精准限定于芯片边缘溢胶区域,仅对挤出
的胶环进行侧照固化,不直射芯片有源区与焊盘,杜绝紫外光对芯片电学性能的影响,适配微米
级对位精度的先进封装工艺。
低温无应力固化冷光源完全滤除红外热辐射,固化过程中芯片与基板表面温升可控,从根源避免
热固化带来的芯片翘曲、基板形变与位置偏移,保障固晶共面性与键合精度,尤其适配 MEMS、
光芯片等敏感器件封装。
二、工艺适配与性能表现
针对常规固晶胶边缘固化场景,采用侧照式光路设计,配合自动化固晶机台联动,数秒内即可完
成胶环定位固化。固化后胶层粘接强度稳定,离子污染物含量低,满足半导体封装高洁净要求;
芯片位置偏移量极小,可适配后续引线键合工艺精度标准。
三、应用价值与结语
UVLED 侧固化方案可显著缩短固晶工序节拍,提升产线自动化水平,同时降低热应力导致的产品
失效风险,提升封装良率。相较于传统烘箱热固化,其能耗更低、占地面积更小,且无汞、无臭
氧排放,符合半导体制造绿色升级趋势。
随着先进封装向微型化、高密度方向演进,固晶工艺对精度与低温控制的要求持续提升,UVLED
固化技术将在高端芯片封装、光电子器件封装等领域发挥更重要的作用,为半导体制造的高精度
、高可靠性量产提供稳定支撑。

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